Главная         Авторы   Статьи   Год проведения   Тематика   Организации        Конференция МЭС

Инфракрасные фоточувствительные элементы на основе МЭМС
Авторы
	Фетисов Е.А.
	Хафизов Р.З.
	Белин А.М.
	Рудаков Г.А.
	Золотарев В.И.
	Федирко В.А.
	Рыгалин Д.Б.
Год публикации
	2012
УДК
	621.382.001
Аннотация
	Рассмотрены особенности проектирования фоточувствительных элементов на основе МЭМС для создания многоэлементных ИК-приемников, функционирующих при комнатной температуре.
Ключевые слова
	микроэлектромеханическая система (МЭМС), инфракрасный фоточувствительный элемент (ИК ФЧЭ), биморфная консоль, интегральный интеллектуальный датчик
Ссылка на статью
	Фетисов Е.А., Хафизов Р.З., Белин А.М., Рудаков Г.А., Золотарев В.И., Федирко В.А., Рыгалин Д.Б. Инфракрасные фоточувствительные элементы на основе МЭМС // Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем - 2012. Сборник трудов / под общ. ред. академика РАН А.Л. Стемпковского. М.: ИППМ РАН, 2012. С. 658-661.
Адрес статьи
	http://www.mes-conference.ru/data/year2012/pdf/D90.pdf