Главная         Авторы   Статьи   Год проведения   Тематика   Организации        Конференция МЭС

Выбор технологического процесса для производства специализированных радиационно-стойких СБИС типа «система в корпусе»
Авторы
	Бумагин А.В.
	Воронков Д.И.
	Древаль Т.Н.
	Руткевич А.В.
	Шишкин О.Н.
Год публикации
	2012
УДК
	621.382
Аннотация
	В статье рассмотрены вопросы разработки базовых технологий производства специализированных электронных компонентов типа «СвК», используемых в бортовой радиоэлектронной аппаратуре космических аппаратов. Обоснован выбор технологии производства и элементной базы кристаллов, стойких к дестабилизирующим факторам космического пространства
Ключевые слова
	система в корпусе, базовый технологический процесс, кремний на изоляторе, объемный кремний, корпусирование, многокристальный модуль, многоуровневая разводка, встроенный монтаж
Ссылка на статью
	Бумагин А.В., Воронков Д.И., Древаль Т.Н., Руткевич А.В., Шишкин О.Н. Выбор технологического процесса для производства специализированных радиационно-стойких СБИС типа «система в корпусе» // Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем - 2012. Сборник трудов / под общ. ред. академика РАН А.Л. Стемпковского. М.: ИППМ РАН, 2012. С. 618-621.
Адрес статьи
	http://www.mes-conference.ru/data/year2012/pdf/D62.pdf