| Алгоритм физического синтеза в блоки элементов с диффузией постоянной ширины |
|
 |
|
|
| Авторы |
| | Рыженко Н.В. |
| Год публикации |
| | 2010 |
| УДК |
| | 519.688 |
|
| Аннотация |
| | Неуклонное уменьшение размера транзисторов при сохранении длины волны литографии требует внедрения всё более и более сложных технологий производства интегральных схем, таких как экспозиция одного слоя посредством нескольких масок. Использование подобных технологий увеличивает время расчёта масок, объём необходимого вспомогательного компьютерного оборудования и стоимость всего производства интегральных схем в целом. В нашей работе мы предлагаем альтернативный взгляд на проблему – как с помощью заданной высокой регулярности топологии уменьшить сложность обсчёта масок или же отдалить необходимость использования дорогостоящих технологий в процессе литографии.
В нашей модели диффузия представляет собой области прямоугольной формы произвольного размера, длиной до нескольких десятков транзисторов. Сток-исток соседних транзисторов в такой полосе или объединены, или же изолированы друг от друга затвором всегда закрытого разделяющего транзистора.
Предложенный алгоритм физического синтеза образует кластеры из элементов с диффузией одинаковой ширины, формируя неразрывные полосы регулярной диффузии. Модифицированный алгоритм выбора нагрузочной способности элементов уменьшает деградацию основных параметров схемы (ток утечки и производительность) до нескольких процентов по сравнению с обычным физическим синтезом. Формирование кластеров приводит к некоторому ухудшению трассируемости схемы. В работе представлены подходы для уменьшения этого негативного эффекта. |
| Ключевые слова |
| | регулярный шаблон, физический синтез |
| Ссылка на статью |
| | Рыженко Н.В. Алгоритм физического синтеза в блоки элементов с диффузией постоянной ширины // Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем - 2010. Сборник трудов / под общ. ред. академика А.Л.Стемпковского. М.:ИППМ РАН, 2010. С. 178-183. |
| Адрес статьи |
| | http://www.mes-conference.ru/data/year2010/papers/m10-278-15301.pdf |
