Главная         Авторы   Статьи   Год проведения   Тематика   Организации        Конференция МЭС

Расчет и моделирование основных параметров дифференциального емкостного МЭМС-акселерометра
Авторы
	Сайкин Д.А.
	Годовицын И.В.
	Федоров Р.А.
	Амеличев В.В.
Год публикации
	2010
УДК
	621.3.049.779
Аннотация
	С помощью аналитических соотношений и конечно-элементного моделирования рассчитаны основные параметры тестовой структуры дифференциального емкостного МЭМС-акселерометра. Разработана технология изготовления МЭМС-акселерометра с использованием КНИ-пластин и изготовлены экспериментальные образцы. Проведены измерения основных параметров МЭМС-акселерометра, продемонстрировавшие хорошее совпадение с расчетными величинами.
Ключевые слова
	МЭМС, КНИ, акселерометр
Ссылка на статью
	Сайкин Д.А., Годовицын И.В., Федоров Р.А., Амеличев В.В. Расчет и моделирование основных параметров дифференциального емкостного МЭМС-акселерометра // Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем - 2010. Сборник трудов / под общ. ред. академика А.Л.Стемпковского. М.:ИППМ РАН, 2010. С. 642-647.
Адрес статьи
	http://www.mes-conference.ru/data/year2010/papers/m10-157-90361.pdf