| Компьютерное моделирование компонентов МЭМС |
|
|
| Авторы |
| | Коловский Ю.В. |
| | Левицкий А.А. |
| | Маринушкин П.С. |
| Год публикации |
| | 2008 |
| УДК |
| | 621.38 |
|
| Аннотация |
| | Рассмотрены существующие подходы к компьютерному моделированию компонентов микро-электромеханических систем (МЭМС) и соответствующие виды программных средств анализа. Приведены примеры численных моделей микроустройств с помощью пакетов ANSYS и Comsol Multiphysics. Применение предлагаемых моделей позволяет проводить мультифизичный (междисциплинарный) анализ компонентов МЭМС с учетом факторов, оказывающих существенно влияние на работу микроустройств. |
| Ключевые слова |
| | Компьютерное моделирование, МЭМС |
| Ссылка на статью |
| | Коловский Ю.В., Левицкий А.А., Маринушкин П.С. Компьютерное моделирование компонентов МЭМС // Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем - 2008. Сборник научных трудов / под общ. ред. А.Л.Стемпковского. М.:ИППМ РАН, 2008. С. 398-401. |
| Адрес статьи |
| | http://www.mes-conference.ru/data/year2008/74.pdf |
