| Электростатические планарные микромеханические реле |
|
|
| Авторы |
| | Мухуров Н.И. |
| | Ефремов Г.И. |
| | Котова И.Ф. |
| Год публикации |
| | 2008 |
| УДК |
| | 621.382.049.77+531:546.621-31 |
|
| Аннотация |
| | Представлены результаты расчетов рабочих параметров различных конструктивных вариантов электростатических планарных микромеханических реле. Рассматриваются основные принципы построения и закономерности функционирования электростатических микрореле. Прецизионная точность формирования элементов обеспечивается за счет использования алюмооксидной технологии и интегральных методов полупроводниковой микроэлектроники. В результате могут быть достигнуты сокращение трудоемкости сборки, низкая стоимость материалов, расширенные функциональные возможности МЭМС на основе микрокоммутационных переключающих устройств. |
| Ключевые слова |
| | микромеханические реле, электростатика, планарная конструкция, принципы построения, закономерности функционирования, алюмооксидная технология |
| Ссылка на статью |
| | Мухуров Н.И., Ефремов Г.И., Котова И.Ф. Электростатические планарные микромеханические реле // Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем - 2008. Сборник научных трудов / под общ. ред. А.Л.Стемпковского. М.:ИППМ РАН, 2008. С. 394-397. |
| Адрес статьи |
| | http://www.mes-conference.ru/data/year2008/73.pdf |
