| TCAD-моделирование элементов фоточувствительных ПЗС СБИС |
|
|
| Авторы |
| | Пугачев А.А. |
| | Маклакова О.В. |
| | Кушнир А.А. |
| Год публикации |
| | 2008 |
| УДК |
| | 621.383.001.66 |
|
| Аннотация |
| | Разработаны методические приемы моделирования элементов фоточувствительных СБИС на приборах с зарядовой связью (ПЗС) с помощью пакета приборно-технологического моделирования ISE TCAD компании Synopsys. Представлены приемы TCAD-моделирования ПЗС-элементов строчно-кадровых матриц и описаны их основные возможности и ограничения. |
| Ключевые слова |
| | Приборно-технологическое моделирование, фоточувствительные СБИС, прибор с зарядовой связью, ISE TCAD |
| Ссылка на статью |
| | Пугачев А.А., Маклакова О.В., Кушнир А.А. TCAD-моделирование элементов фоточувствительных ПЗС СБИС // Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем - 2008. Сборник научных трудов / под общ. ред. А.Л.Стемпковского. М.:ИППМ РАН, 2008. С. 189-194. |
| Адрес статьи |
| | http://www.mes-conference.ru/data/year2008/32.pdf |
