| Анализ динамических процессов распространения помех в подложках интегральных элементов методами приборно-технологического моделирования |
|
|
| Авторы |
| | Крупкина Т.Ю. |
| | Родионов Д.В. |
| Год публикации |
| | 2008 |
| УДК |
| | 621.38 |
|
| Аннотация |
| | Проведено исследование распределенных эффектов в подложке с помощью средств приборно-технологического моделирования TCAD. Предложены эквивалентные схемы, описывающие взаимодействие интегральных транзисторных структур через подложку. |
| Ключевые слова |
| | распространение помех в подложках интегральных элементов, приборно-технологическое моделирование |
| Ссылка на статью |
| | Крупкина Т.Ю., Родионов Д.В. Анализ динамических процессов распространения помех в подложках интегральных элементов методами приборно-технологического моделирования // Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем - 2008. Сборник научных трудов / под общ. ред. А.Л.Стемпковского. М.:ИППМ РАН, 2008. С. 179-182. |
| Адрес статьи |
| | http://www.mes-conference.ru/data/year2008/30.pdf |
