| Моделирование процессов равновесной и быстрой термообработок при формировании активных областей субмикронных и нанометровых ИС |
|
|
| Авторы |
| | Комаров Ф.Ф. |
| | Величко О.И. |
| | Заяц Г.М. |
| | Комаров А.Ф. |
| | Миронов А.М. |
| | Цурко В.А. |
| Год публикации |
| | 2008 |
| УДК |
| | 621.38 |
|
| Аннотация |
| | Разработана двумерная модель миграции имплантированных атомов мышьяка в кремнии,
а также модель перераспределения имплантированных
атомов мышьяка в системе SiO2/Si. Предложенный численный метод позволяет корректно строить алгоритм без традиционно вводимого на границе раздела сред искусственного параметра — коэффициента массопереноса (transport rate). Представленные результаты расчетов хорошо согласуются с экспериментальными данными. |
| Ключевые слова |
| | двумерная модель миграции атомов |
| Ссылка на статью |
| | Комаров Ф.Ф., Величко О.И., Заяц Г.М., Комаров А.Ф., Миронов А.М., Цурко В.А. Моделирование процессов равновесной и быстрой термообработок при формировании активных областей субмикронных и нанометровых ИС // Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем - 2008. Сборник научных трудов / под общ. ред. А.Л.Стемпковского. М.:ИППМ РАН, 2008. С. 165-168. |
| Адрес статьи |
| | http://www.mes-conference.ru/data/year2008/27.pdf |
