| Повышение точности экстракции паразитных емкостей межсоединений |
|
|
| Авторы |
| | Русаков А.С. |
| | Хапаев М.М. |
| Год публикации |
| | 2008 |
| УДК |
| | 519.63 |
|
| Аннотация |
| | Аналитические методы вычисления емкости не могут удовлетворить современным требованиям к точности программ экстракции. Использование программ численного решения уравнения Лапласа на базе метода конечных или граничных элементов требует больших вычислительных ресурсов. Современные программы экстракции часто учитывают только наиболее часто встречающиеся конфигурации проводников, а учет новых конфигураций требует расчета и использования новых шаблонов, что также снижает производительность. В работе предлагается
использовать полуаналитический метод, который
обеспечивает приемлемую точность вычисления
поправок для некоторых конфигураций проводников и
не приводит к потере быстродействия программ
экстракции. |
| Ключевые слова |
| | экстракция, паразитные емкости |
| Ссылка на статью |
| | Русаков А.С., Хапаев М.М. Повышение точности экстракции паразитных емкостей межсоединений // Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем - 2008. Сборник научных трудов / под общ. ред. А.Л.Стемпковского. М.:ИППМ РАН, 2008. С. 150-153. |
| Адрес статьи |
| | http://www.mes-conference.ru/data/year2008/24.pdf |
