Конструктивно-технологические аспекты создания кремниевых цветных фотоячеек с глубинным цветоделением на изотипных р+-р переходах |
|
|
Авторы |
| Горшкова Н.М. |
Год публикации |
| 2008 |
УДК |
| 621.383 |
|
Аннотация |
| В работе предложена методика проектирования нового типа матричных приёмников цветного изображения на принципах глубинного цветоделения, реализуемых в рамках КМОП технологии. Получены расчётные и экспериментальные спектральные характеристики фотоячеек. Предложена физическая структура БиКМОП микросхемы, включающая одновременно биполярные транзисторы, КМОП приборы и фотоячейки. |
Ключевые слова |
| Матричный фотоприемник, фотоячейка, фоточувствительность, КМОП технология |
Ссылка на статью |
| Горшкова Н.М. Конструктивно-технологические аспекты создания кремниевых цветных фотоячеек с глубинным цветоделением на изотипных р+-р переходах // Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем - 2008. Сборник научных трудов / под общ. ред. А.Л.Стемпковского. М.:ИППМ РАН, 2008. С. 522-527. |
Адрес статьи |
| http://www.mes-conference.ru/data/year2008/98.pdf |