Применение автофотоэлектронных полупроводниковых микроструктур для анализа газовых смесей |
|
|
Авторы |
| Егоров Н.М. |
| Левицкий А.А. |
Год публикации |
| 2006 |
УДК |
| 621.38 |
|
Аннотация |
| Предлагается метод анализа газовых смесей на основе автофотоэлектронных полупроводниковых микроструктур, чувствительных в ИК–диапазоне в присутствии различных компонент газовой смеси; обсуждается применение полупроводниковых микроструктур для определения состава газовых смесей; рассмотрены особенности автоэлектронной эмиссии из полупроводников под действием ИК–излучения. |
Ключевые слова |
| автофотоэлектронные полупроводниковые микроструктур, анализ газовых смесей |
Ссылка на статью |
| Егоров Н.М., Левицкий А.А. Применение автофотоэлектронных полупроводниковых микроструктур для анализа газовых смесей // Проблемы разработки перспективных микроэлектронных систем - 2006. Сборник научных трудов / под общ. ред. А.Л.Стемпковского. М.:ИППМ РАН, 2006. С. 449-450. |
Адрес статьи |
| http://www.mes-conference.ru/data/year2006/82.pdf |