Главная         Авторы   Статьи   Год проведения   Тематика   Организации        Конференция МЭС

Сканирующий зондовый микроскоп ВЕГА - система для решения задач микро- и наноэлектроники
Авторы
	Быков В.А.
	Быков А.В.
	Бобров Ю.А.
	Котов В.В.
	Леесмент С.И.
	Поляков В.В.
Год публикации
	2022
DOI
	10.31114/2078-7707-2022-3-146-149
УДК
	539.232
Аннотация
	в статье изложены возможности нового прибора разработки Компании ООО «НТ-МДТ» - сканирующего зондового микроскопа «ВЕГА» - прибора способного работать с образцами размером до 200х200х40 мм с свойств и метрологического контроля предельным для атомно-силовой микроскопии разрешением для исследования поверхностных наноструктур микро и наноэлектроники.
Ключевые слова
	сканирующий туннельный микроскоп, СТМ, сканирующий атомно-силовой микроскоп, АСМ, сканирующий зондовый микроскоп, СЗМ, комбинационное рассеяние, Рамановская спектроскопия, Рамановская микроскопия сверхвысокого разрешения, ближнепольная оптическая микроскопия, безапертурная сканирующая зондовая микроскопия ближнего поля, кантилевер, картридж, нанотехнология, метрология, нанометрология, наноэлектроника, медицина, диагностика, онкология, вирусы.
Ссылка на статью
	Быков В.А., Быков А.В., Бобров Ю.А., Котов В.В., Леесмент С.И., Поляков В.В. Сканирующий зондовый микроскоп ВЕГА - система для решения задач микро- и наноэлектроники // Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем (МЭС). 2022. Выпуск 3. С. 146-149. doi:10.31114/2078-7707-2022-3-146-149
Адрес статьи
	http://www.mes-conference.ru/data/year2022/pdf/D051.pdf