Главная         Авторы   Статьи   Год проведения   Тематика   Организации        Конференция МЭС

Формирование слоев пористого кремния для создания гетероэпитаксиальных и композитных структур
Авторы
	Гревцов Н.Л.
	Лопато У.П.
	Чубенко Е.Б.
	Бондаренко В.П.
	Гаврилин И.М.
	Дронов А.А.
	Гаврилов С.А.
Год публикации
	2022
DOI
	10.31114/2078-7707-2022-3-150-156
УДК
	539.23
Аннотация
	Исследована структура слоев пористого кремния, сформированных при различных плотностях тока и продолжительностях анодной электрохимической обработки. Произведен статистический анализ распределения по размерам (диаметрам пор и толщине скелета) элементов матрицы пористого кремния, полученного в различных режимах анодирования. Разработана методика удаления приповерхностного слоя пористого кремния, вызывающего трудности при электрохимическом заполнении каналов пор металлами, и оценен эффект данной операции на структурные параметры внутренних областей пористого кремния. Даны рекомендации касательно применения слоев пористого кремния в составе гетероэпитаксиальных структур и нанокомпозитов на основе пористого кремния и германия, позволяющих обеспечить возможность реализации более оптимальных подходов к синтезу высокоэффективных термоэлектрических устройств.
Ключевые слова
	пористый кремний, электрохимическое осаждение, гетероэпитаксия, нанокомпозитные структуры.
Ссылка на статью
	Гревцов Н.Л., Лопато У.П., Чубенко Е.Б., Бондаренко В.П., Гаврилин И.М., Дронов А.А., Гаврилов С.А. Формирование слоев пористого кремния для создания гетероэпитаксиальных и композитных структур // Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем (МЭС). 2022. Выпуск 3. С. 150-156. doi:10.31114/2078-7707-2022-3-150-156
Адрес статьи
	http://www.mes-conference.ru/data/year2022/pdf/D046.pdf