Главная         Авторы   Статьи   Год проведения   Тематика   Организации        Конференция МЭС

Исследование пористых пленок диоксида кремния, модифицированных углеродом
Авторы
	Стрелкова А.Е.
	Сахаров Ю.В.
Год публикации
	2022
DOI
	10.31114/2078-7707-2022-3-170-175
УДК
	539.216.2
Аннотация
	В сфере микро- и наноэлектроники многие ученые год за годом проявляют огромный интерес в поисках и исследованиях новых материалов, способствующих кардинальному расширению электронной компонентной базы, что связано, в первую очередь, со значительным ростом затрат производства при масштабировании научно-технических процессов. Ярким примером таких материалов служат пористые оксидные пленки, актуальность исследования которых обусловлена их применением в фотодетекторах, светодиодах, катодах вакуумной микроэлектроники, в роли межслойной изоляции интегральных микросхем (ИМС), наномембранах, антибликовых покрытий в приборах оптической электроники. За счет применения этих пленок в качестве изолирующих материалов заметно повышается скорость распространения электрических сигналов, из-за более низкой диэлектрической проницаемости, чем у непористых структур, снижаются потери на электропроводность, что также позволяет использовать диоксид кремния, модифицированный углеродом, для уменьшения потери мощности в ИМС СВЧ-диапазона. Целью данной статьи являлось исследование электрофизических свойств пористых пленок диоксида кремния. Объект исследования – тонкопленочная структура металл-диэлектрик-металл (МДМ) на основе диоксида кремния, модифицированного углеродом.
Ключевые слова
	пористые пленки, диэлектрические пленки, тонкопленочный конденсатор, диоксид кремния, углерод, пробой, тонкопленочный конденсатор.
Ссылка на статью
	Стрелкова А.Е., Сахаров Ю.В. Исследование пористых пленок диоксида кремния, модифицированных углеродом // Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем (МЭС). 2022. Выпуск 3. С. 170-175. doi:10.31114/2078-7707-2022-3-170-175
Адрес статьи
	http://www.mes-conference.ru/data/year2022/pdf/D032.pdf