| Изучение высокоточного лазерного прибора для исследования интегральных схем и мониторинга сейсмических и гравитационных процессов |
|
 |
|
|
| Авторы |
| | Минин Ю.Б. |
| | Александров Д.В. |
| | Дубров М.Н. |
| | Федоров М.В. |
| Год публикации |
| | 2021 |
| DOI |
| | 10.31114/2078-7707-2021-4-182-186 |
| УДК |
| | |
|
| Аннотация |
| | Предложен новый метод интерферометрических измерений деформаций. Способ сочетает в себе интерферометрическую точность, не требует перемещения внешнего зеркала через измерительную базу и характеризуется использованием улучшенной постобработки сигнала за счет использования методов линеаризации и цифровой обработки. Предлагаемый способ исследуется для достижения точности в десятки нанометров в широком динамическом диапазоне до 200 дБ с чувствительностью обнаружения деформации порядка 10-12. |
| Ключевые слова |
| | интерферометр, стрейнметр, виброметр. |
| Ссылка на статью |
| | Минин Ю.Б., Александров Д.В., Дубров М.Н., Федоров М.В. Изучение высокоточного лазерного прибора для исследования интегральных схем и мониторинга сейсмических и гравитационных процессов // Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем (МЭС). 2021. Выпуск 4. С. 182-186. doi:10.31114/2078-7707-2021-4-182-186 |
| Адрес статьи |
| | http://www.mes-conference.ru/data/year2021/pdf/D082.pdf |
