| Сравнение тепловых характеристик MOSFET и FinFET |
|
 |
|
|
| Авторы |
| | Петросянц К.О. |
| | Силкин Д.С. |
| | Попов Д.А. |
| Год публикации |
| | 2021 |
| DOI |
| | 10.31114/2078-7707-2021-4-2-6 |
| УДК |
| | 621.382.323 |
|
| Аннотация |
| | В статье представлена тепловая TCAD модель FinFET модуля, состоящего из восьми параллельно включенных fin’ов. Приведены результаты моделирования саморазогрева модуля, а также зависимость перегрева от расстояния между fin’ами в модуле. Проведено сравнение значений перегрева для одиночного fin’а и МОПТ с аналогичными параметрами структуры. |
| Ключевые слова |
| | FinFET, МОПТ, саморазогрев, TCAD-моделирование. |
| Ссылка на статью |
| | Петросянц К.О., Силкин Д.С., Попов Д.А. Сравнение тепловых характеристик MOSFET и FinFET // Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем (МЭС). 2021. Выпуск 4. С. 2-6. doi:10.31114/2078-7707-2021-4-2-6 |
| Адрес статьи |
| | http://www.mes-conference.ru/data/year2021/pdf/D068.pdf |
