Главная
Авторы Статьи Год проведения Тематика Организации Конференция МЭС
| Характеризация микро- и мезопористых пленок с помощью метода адсорбционной эллипсометрической порометрии |
|
 |
|
|
| Авторы |
| | Воротынцев Д.А. |
| | Вишневский А.С. |
| Год публикации |
| | 2021 |
| DOI |
| | 10.31114/2078-7707-2021-4-140-147 |
| УДК |
| | 53.082.55 |
|
| Аннотация |
| | В настоящей работе исследована характеризация структуры пористых пленок с помощью метода адсорбционной эллипсометрической порометрии. Основными преимуществами данного метода являются его относительная простота, а также возможность оценивать не только пористость и размеры пор, но еще и механические свойства пленок. Для автоматизации измерений и расчета параметров пористой структуры пленок было разработано несколько программ для ЭВМ. С их помощью реализуется более точный и простой анализ основных параметров пористых пленок с получением данных не только об открытой пористости и распределении пор по размерам, но также о среднем значении размера пор, полуширине распределения мезопор по размерам, показателе преломления скелетона и доле микропор. При всех своих преимуществах метод адсорбционной эллипсометрической порометрии имеет некоторые ограничения, которые являются важными условиями корректной его работы. Показано, что особую важность имеет термостабилизация подложкодержателя, т.к. это напрямую влияет на точность результатов оценки модуля Юнга. Предложена методика оценки содержания остаточной влаги в газе по наклону моделирующей прямой, аппроксимирующей зависимость показателя преломления от времени. |
| Ключевые слова |
| | адсорбционная эллипсометрическая порометрия, открытая пористость, размер пор, распределение пор по размерам, модуль Юнга, термостабилизация. |
| Ссылка на статью |
| | Воротынцев Д.А., Вишневский А.С. Характеризация микро- и мезопористых пленок с помощью метода адсорбционной эллипсометрической порометрии // Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем (МЭС). 2021. Выпуск 4. С. 140-147. doi:10.31114/2078-7707-2021-4-140-147 |
| Адрес статьи |
| | http://www.mes-conference.ru/data/year2021/pdf/D041.pdf |
|
|
