| TCAD и SPICE-модели для описания радиационных эффектов в наноразмерных МОП-транзисторных структурах |
|
 |
|
|
| Авторы |
| | Петросянц К.О. |
| | Попов Д.А. |
| | Исмаил-заде М.Р. |
| | Самбурский Л.М. |
| | Ли Б. |
| | Ючонг В. |
| Год публикации |
| | 2020 |
| DOI |
| | 10.31114/2078-7707-2020-4-2-8 |
| УДК |
| | 004 |
|
| Аннотация |
| | Два типа моделей МОПТ, имеющихся в коммерческих версиях TCAD- и SPICE-симуляторов, дополнены уравнениями для учёта радиационных эффектов. Адекватность моделей иллюстрирована на двух примерах: 1) 0,2 и 0,24 мкм КНИ/DSOI МОПТ с учётом дозовых эффектов и ОЯЧ; 2) 28 нм МОПТ на объёмном кремнии, 45 нм и 28 нм КНИ МОПТ с high k диэлектриком с учётом дозовых эффектов. |
| Ключевые слова |
| | 45 нм МОПТ; 28 нм МОПТ; DSOI; TCAD; SPICE; поглощенная доза; одиночные сбои. |
| Ссылка на статью |
| | Петросянц К.О., Попов Д.А., Исмаил-заде М.Р., Самбурский Л.М., Ли Б., Ючонг В. TCAD и SPICE-модели для описания радиационных эффектов в наноразмерных МОП-транзисторных структурах // Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем (МЭС). 2020. Выпуск 4. С. 2-8. doi:10.31114/2078-7707-2020-4-2-8 |
| Адрес статьи |
| | http://www.mes-conference.ru/data/year2020/pdf/D122.pdf |
