Главная         Авторы   Статьи   Год проведения   Тематика   Организации        Конференция МЭС

Структура и электрофизические свойства пористых диэлектриков, модифицированных углеродом
Авторы
	Сахаров Ю.В.
Год публикации
	2020
DOI
	10.31114/2078-7707-2020-3-133-138
УДК
	621.384.5, 537.533
Аннотация
	Предложен физический метод получения пористых пленок диоксида кремния (SiO2) и пентаоксида тантала (Ta2O5) в вакуумных условиях. Исследованы структура и свойства пористых пленок, полученных в результате самоорганизации при магнетронном распылении составной мишени. Установлены корреляции количества и размера пор, структуры и свойств пористых пленок. Показано, что процесс самоорганизации, приводящий к формированию пространственно распределенных пор, изменяет электрофизические свойства диэлектрических пленок и расширяет их функциональное назначение. Выявлено наличие общих тенденций в изменениях электрофизических свойств и структуры поверхности пленок SiO2 и Ta2O5 при введении в них углерода, что позволяет предполагать возможность аналогичных изменений и в других оксидных диэлектриках, формируемых в плазме тлеющего разряда. Установлено, что наличие развитой пористой структуры способствует повышению селективной адсорбционной способности исследуемых диэлектриков.
Ключевые слова
	самоорганизация, мезапористые тонкие пленки, диоксид кремния, пентаоксид тантала, электрофизические свойства, магнетронное распыление, углерод.
Ссылка на статью
	Сахаров Ю.В. Структура и электрофизические свойства пористых диэлектриков, модифицированных углеродом // Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем (МЭС). 2020. Выпуск 3. С. 133-138. doi:10.31114/2078-7707-2020-3-133-138
Адрес статьи
	http://www.mes-conference.ru/data/year2020/pdf/D100.pdf