Главная         Авторы   Статьи   Год проведения   Тематика   Организации        Конференция МЭС

Возможности метрологических систем атомно-силовой микроскопии для исследований, разработок и контроля параметров изделий микро и наноэлектроники
Авторы
	Быков В.А.
	Быков А.В.
	Бобров Ю.А.
	Котов В.В.
	Леесмент С.И.
	Поляков В.В.
Год публикации
	2020
DOI
	10.31114/2078-7707-2020-4-187-192
УДК
	539.232
Аннотация
	в статье изложены современные возможности сканирующих зондовых микроскопов для исследования свойств и метрологического контроля поверхностей и наноструктур, в том числе, изделий микро и наноэлектроники.
Ключевые слова
	сканирующий туннельный микроскоп, СТМ, сканирующий атомно-силовой микроскоп, АСМ, сканирующий зондовый микроскоп, СЗМ, комбинационное рассеяние, Рамановская спектроскопия, Рамановская микроскопия сверхвысокого разрешения, ближнепольная оптическая микроскопия, безапертурная сканирующая зондовая микроскопия ближнего поля, кантилевер, нанотехнология, метрология, нанометрология, наноэлектроника.
Ссылка на статью
	Быков В.А., Быков А.В., Бобров Ю.А., Котов В.В., Леесмент С.И., Поляков В.В. Возможности метрологических систем атомно-силовой микроскопии для исследований, разработок и контроля параметров изделий микро и наноэлектроники // Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем (МЭС). 2020. Выпуск 4. С. 187-192. doi:10.31114/2078-7707-2020-4-187-192
Адрес статьи
	http://www.mes-conference.ru/data/year2020/pdf/D097.pdf